本設備用于水處理含水溶性酸性廢氣，如氯化氫氣體、三氯氫硅、四氯化硅等酸性廢氣。本設備共有五級水處理過程：含酸性廢氣進入級噴淋塔，該塔自上而下有一個環形水幕，對進入的酸氣進行次反應。第二級進入水箱里面噴淋處理，隨后進入第三級噴淋塔，該塔有上下兩層噴淋頭，形成傘形水幕，對廢氣進行第三次水洗溶解。進入第四級噴淋塔，該塔也分兩層，大量分散水對酸氣充分吸收。第五級為射流器水洗，高速旋轉水流吸收殘余酸氣。經過五級處理的酸氣可使酸濃度從10%降到0.05%以下。
本設備采用射流器產生負壓，變頻器控制電機速度產生穩定負壓，高精度的射流器與負壓傳感器配合實現了壓力快速調節及穩定功能，在管道部分受到影響的情況下自動調節處理器真空抽速，保證生產設備穩定。
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